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3377体育官网ASM IP 申请基座制造方法专利提供用于沉积设备的稳定连接器
类别:行业资讯 发布时间:2024-12-12 15:26:56 浏览: 次
金融界2024年12月11日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“基座制造方法以及使用该方法制造的基座”的专利,公开号CN 119101887 A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,提出了一种提供用于沉积设备的稳定连接器的方法3377体育官网。该方法可以包括在陶瓷材料内部形成圆顶形电极连接器,钻出一部分陶瓷材料以及一部分圆顶形电极连接器以使电极连接器平整;并且将杆结合到电极连接器的剩余部分中。该方法将提供稳定的电极连接器,该电极连接器可以保持结合到其上的杆的整个长度3377体育官网。平整电极连接器的长度可以是5mm3377体育官网。