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3377体育ASML 荷兰有限公司取得衬底保持器、光刻设备及制造器件的方法专利
类别:行业资讯 发布时间:2024-12-18 05:47:25 浏览: 次
金融界 2024 年 12 月 17 日消息,国家知识产权局信息显示,ASML 荷兰有限公司取得一项名为“衬底保持器、光刻设备及制造器件的方法”的专利,授权公告号 CN 111474826 B 3377体育,申请日期为 2016 年 11 月。
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