金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，芯联集成电路制造股份有限公司取得一项名为“回吸系统及半导体设备”的专利，授权公告号CN 222106602 U3377体育平台，申请日期为2023年12月3377体育平台。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种回吸系统及半导体设备，回吸系统包括：供液管路，供液管路的进液口用于与供液装置连通供液管路的出液口用于与待供液装置连通；通断单元，至少部分地设置于供液管路上，用于控制供液管路的通断；回吸单元，至少部分地设置于通断单元与出液口之间的供液管路上，回吸单元用于对回吸单元与出液口之间的供液管路中的液体进行回吸；延时单元，与回吸单元连接；控制器，与通断单元控制连接3377体育平台，且通过延时单元与回吸单元控制连接，其中，延时单元用于使来自控制器的控制信号延迟预设时间提3377体育平台供至回吸单元。根据本申请的回吸系统及半导体设备可以显著提升回吸效果。